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under bump metal lurgy


网络释义
中形成凸块下金属
本发明所提供的方法形成图案化金属结构,可于长凸块制程(bumping process)中形成凸块下金属(under bump metal lurgy,UBM)的步骤,同时形成于护层的表面。其中金属图案的组成成分与凸块下金属相同。
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