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顶面成像
第十章 高级光刻工艺--电子胶水学习指南 烷化作用/DESIRE工艺：扩散加强硅烷化光刻胶，硅烷化反应（silyation process）、顶面成像（TSI, top surface image）； c.聚酰亚胺平整层； d.回刻平整； e.铜制程工艺：铜制程dual damascene； f.
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