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titanium sublimation pump

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钛升华泵
查看英英释义
abstract:
A titanium sublimation pump (TSP) may be used as a component of ultra high vacuum systems.

网络释义
钛升华泵
...ump);低温吸附泵(Cryo Pump);离子溅射泵(Ion Pump);涡 轮分子泵(Turbo Pump);钛升华泵(Titanium sublimation Pump) 高真空泵 扩散泵 低温吸附泵 离子溅射泵 涡轮分子泵 钛升华泵 工作 原理 扩散产生 的曳力 克克方程,低温冷 凝,低温吸附,低温...
钛升华帮浦
...受热直接 蒸发成蒸气(升华)后凝结在外套上(腔壁)以达到结拖抽气 之作用,此种帮浦称之为钛升华帮浦(titanium sublimation pump,TSP)。此种帮浦之压力工作范围在10 - 2 torr至10 -10 torr。
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