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输入要查询的单词：
sputtering ion plating
网络释义
离子镀
尤其是可依靠提高射频激励增加离化率,优化薄膜沉积过程溅射离子镀 (sputtering ion plating)是在溅射沉积法的基础上，在基片上施加偏压，并可通入反应气体， 形成薄膜的方法。
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