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spreading resistance profile
网络释义
扩展电阻法
定义 中文名称： 扩展电阻法 英文名称： spreading resistance profile 定义： 通过测量金属探针与半导体接触形成的扩展电阻，根据已有的扩展电阻与电阻率的校正曲线，获得半导体微区电阻率的电学测量技术。此方法可用于测量半导体器件中载流
测分析仪
...扫描电子显微镜(S-4700I) (High-Resolution Scanning Electron Microscope& EDS) 展阻量测分析仪(Spreading Resistance Profile) styen@cc.nctu.edu.tw 54252 光学步进机(I-line stepper) 氧化扩散系统(Oxidation & Diffusion Furnances) 低压化学沉积系统(LP...
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