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spay pyrolysis
网络释义
喷雾热解法
ZnO薄膜的制作方法很多，主要有磁控溅射法(magnetronsputtering)、溶胶凝胶法(sol-gel)、喷雾热解法(spay pyrolysis)、分子束外延(MBE)、脉冲激光沉积(PLD)、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)、原子层外延生长法(ALE)等。
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