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输入要查询的单词：
silicon micromachining
网络释义
微加工技术
简言之，CMOS MEMS是在标准的CMOS制程外，再辅以MEMS特有之体型(bulk)或面型(surface)矽微加工技术 (silicon micromachining)，即可在矽晶圆上制作出微米等级悬浮结构，使得这些微结构可以产生机械运动或形变等行为。
微加工
（1）硅微加工 [ ] 19 硅微加工（Silicon Micromachining）源自集成电路制造技术，是目前微细加 工的主要制造技术。
微机械加工
关键词 : 陀螺 ; 微机械加工 ; 噪声 ; 滑膜阻尼 [gap=6265]Key words : gyroscope ; silicon micromachining ; noise ; slide2film damping
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