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silicon bulk micromachining
网络释义
加工
一般利用矽基材为基础的微机械技术有三种，主要的制作方式：第一种是体型 微细加工(silicon bulk micromachining)，其特点是将矽晶片蚀刻成机械元件；第二种技术是表 面微细加工(surface micromachining)，其特色系在矽基材上长不同厚度及材料的...
体硅工艺
体硅工艺
常用短语
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