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resist coating

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涂光刻胶

网络释义
光阻涂布
(5)光阻涂布(Resist Coating): 将光阻均匀地涂布在基板上。 (6)去除基板边缘光阻(Edge Remover):将基板边缘之光阻残 馀物去除,以避免污染。
光阻覆盖
...position 化学气相沈积 Chemical Vapor Deposition 離子植入 Ion Implant 光阻覆盖 (Resist Coating) 光阻覆盖 (Resist Coating)(续) 曝光(Exposure) 显影(Developing) 蚀刻(Etching) 離子植入(Doping) 金属薄膜沉积及金属蚀刻 Met...
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