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reactive magnetron sputtering
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https://www.dute.org/dict/reactive_magnetron_sputtering复制链接 反应磁控溅射
网络释义
溅射法
...Kivaisi等人n劬以纯金属钒（纯度99．7％）为原料，采用直流（Dc）和射频（RF）反应磁控溅射法（Reactive magnetron sputtering）在普通玻璃衬底上制备V02薄膜。
反应磁控溅射
1．4．1反应磁控溅射（Reactive Magnetron Sputtering） 反应磁控溅射法利用辉光放电的原理进行工作，溅射过程中要用到时气和02气，舡作为溅射气体，02作为反应气体，通过流量控制器分别...
常用短语
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