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输入要查询的单词：
rapid thermal annealing process
网络释义
快速加热退火制作工艺
...极(drain)； 在该源极与该漏极表面形成一镍(nickel，Ni)层；以及 进行一快速加热退火制作工艺(rapid thermal annealing process，RTAprocess)，以使该镍层与该源极与该漏极表面相反应而在该源极与该漏极表面形成一镍硅层。
快速退火工艺
快速退火工艺
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