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model reference control
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https://www.dute.org/dict/model_reference_control复制链接 模型参考控制
网络释义
模型参考控制
文章详细信息 关键词： 两级驱动伺服系统;;模型参考控制;;微驱动;;带宽 [gap=504]Keywords: dual-stage actuator servo system;model reference control;micro actuator;bandwidth
控制
本年度研究结果显示经由特殊的演 算法则，可得到更为立体的微影图形，同时借由參考 模型控制（Model Reference Control），可建立匹配的 探针动态特性，并透过实验验证此控制符合设计的需 求。
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