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输入要查询的单词：
micromachining
n.
显微机械加工，微加工
网络释义
显微机械加工
目前为止，其主要的制作工艺手段包括基于MEMs的工艺 和基于 显微机械加工 （ Micromachining ）的工艺。 文献【26】提出了一种新颖的基于MEMs工艺的光纤法布里一珀罗压力传感器，它利 用砌巳Ms技术将微型结构直接制作在光纤...
精密加工
... microlux微勒 micromachining精密加工 micromanipulator微型操纵器，微型机械手 ...
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