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micro-electro-mechanical system design


网络释义
微机电系统设计
文章摘要信息 关键词 : 微机电系统设计;疲劳;薄膜;梳状驱动器;有限元分析 [gap=1135]Keywords : micro-electro-mechanical system design;fatigue;thin film;comb driver;FEA
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