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输入要查询的单词：
mems-micro -electro- mechanical system
网络释义
微电子机械系统
...SI新器件及集成技术研究所，系统芯片（SOC-System On Chip）研究所，微电子机械系统（MEMS-Micro -Electro- Mechanical System）研究所，IC CAE 实验室，工艺实验室。
常用短语
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