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magnetron sputtering method
查词链接：
https://www.dute.org/dict/magnetron_sputtering_method复制链接 磁控溅射法：一种用于薄膜沉积的物理气相沉积技术，通过在磁场和电场的作用下，使靶材料溅射到基片上形成薄膜。
网络释义
磁控溅射法
...；磁控溅射法；sol-gel 法；铁电性能 [gap=1261]Key words: glass based LSCO/PZT/LSCO capacitor; magnetron sputtering method; sol-gel method; ferroelectric property ..
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