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magnetron sputtering
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https://www.dute.org/dict/magnetron_sputtering复制链接 磁控溅射：一种通过远程产生高密度等离子体来进行溅射的方法。等离子体是在一个侧室中产生的，该侧室通向包含目标和待镀覆基底的主处理室。
网络释义
磁控溅射法
1 NdFeB永磁薄膜的制备方法1.1磁控溅射法磁控溅射法(magnetron sputtering)是NdFeB永磁薄膜最常用的制备方法之一,其制备原理是在高真空充入适量氩气,经阴极和阳极所加的高直流电压(约几百千伏)的作用,在溅...
磁控溅射镀
定义 中文名称： 磁控溅射镀 英文名称： magnetron sputtering 定义： 采用磁场束缚靶面附近电子运动的溅射镀。 应用学科： 机械工程（一级学科）； 表面工程（二级学科）； 气相沉积（二级学科） 以上内容由 全国科学
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