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load lock
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https://www.dute.org/dict/load_lock复制链接 货物锁定装置：一种用于固定和保护货物的装置，通常用于运输和货运行业。它可以防止货物在运输过程中滑动或倾斜。
网络释义
预真空锁
工业级的真空系统多半附有一个副真空 装卸腔，一般命名为“负荷固定舱”或“预真空锁”(Load Lock)，它的作用是将被镀物先行载入后做预抽“低真空 度”的动作，例如使用机械泵抽至10 -3 Torr，再打开主要工 作腔与负荷固定舱之间...
装载互锁式
装载互锁式（Load Locked）感应耦合等离子（ICP）系统 产品介绍：IL装载互锁式（Load Lock）感应耦合等离子（ICP）处理系统、感应耦合等离子（ICP）蚀刻/沉...
装载锁
... 热台(heated platen)； 装载锁(load lock)； 腐蚀泵包(corrosive pump package)； ...
真空锁
i系统配备了高真空锁（load lock），利用基板预热对其进行配置，这种预热方式可为该设备的高处理能力提供支持。 i系统提供了.
常用短语
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