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laser lift-off
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https://www.dute.org/dict/laser_lift-off
复制链接 激光剥离:一种利用激光技术将薄膜从基板上剥离的过程,广泛应用于半导体、光电子和微电子制造领域。
网络释义
剥离技术
另外一种结构就是垂直结构,如下图,采用激光剥离技术(Laser Lift-off) 剥离氮化镓外延层和蓝宝石村底,然后使用晶片粘贴技术(Wafer Bonding)和高 导热的金属基底粘合。
雷射剥离
蓝宝石基板移除方法中, 雷射剥离 (laser lift-off)方法为最方便且最有效率之方法。雷射高温使氮化镓产生热分解(thermal decomposition)进而使蓝宝石与氮化镓分离。
激光剥离
在将LED倒装在基板上后,采用激光剥离(Laser lift-off)技术将蓝宝石衬底剥离掉,然后在暴露的N型GaN层上用光刻技术做表面粗化。
利用新改良的激光溶解
而近来已有大功率LED的出产,就是利用新改良的激光溶解(Laser lift-off)及金属黏结技术(metal bonding),将LED磊晶晶圆从GaAs或GaN长晶基板移走,并黏结到另一金属基板上或其他具备高反射性及高导热性...
常用短语
- Laser Lift Off激光剥离技术
- laser lift-off technique激光剥离技术
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