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ion bombardment

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离子轰击:一种物理现象,指带电粒子(如离子)以高速撞击物质表面的过程,通常用于材料科学和表面处理技术。

网络释义
离子轰击
轰击能量对离子束辅助磁控溅射沉积Cr-N薄膜 关键字: 离子轰击; 晶粒度; 硬度; 断裂韧性[gap=1949]Key words: ion bombardment; grain size; hardness; fracture toughness
离子虫击
... ion beam 离子束 ion bombardment 离子虫击 ion chamber 离子室 ...
离子撞击
这三种蚀刻范例有赖于蚀刻制程空间中不同领域的最佳化,特别是蚀刻化学、 离子撞击 ( ion bombardment )与温度的提高及控制。
离子轰击现象
...气体分子进行CVD反应之设备  设备特性  可在更低温度下进行反应  薄膜常含有氢原子  存在离子轰击现象(Ion Bombardment), 可借此调整薄膜的内应力 台大机械/半导体制程设备概 论/气相沉积设备 20 CVD反应器– PECVD  平行板冷壁式PECVD  Low dep...
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