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ion beam etching

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离子束刻蚀

网络释义
离子束腐蚀
... ion sputter etching 溅射刻蚀 ion beam etching 离子束腐蚀 ; 离子束蚀刻 ion bombardment etching 离子轰击浸蚀 ...
离子束刻蚀
离子束刻蚀( Ion beam Etching )是半导体刻蚀工艺中的一种,主要用于集成电路、元器件、传感器等领域的微细图形制备。
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