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ion-bombardment

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离子轰击:一种物理现象,指带电粒子(如离子)以高速撞击物质表面的过程,通常用于材料科学和表面处理技术。

网络释义
离子轰击
22g/ 回复: 干蚀刻基本上包括「离子轰击(ion-bombardment)与「化学反应(chemical reaction) 两部份蚀刻机制。偏「离子轰击效应者使用氩气(argon),加工出来之边缘侧向侵蚀现象极微。
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