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输入要查询的单词：
ion-beam projection lithography
网络释义
离子束投影光刻
...004版本中,已将PEL光刻技术打消,因为该技术只是作为地域性的解决方案)七、离子束投影光刻(IPL,Ion-Beam Projection Lithography)与电子束直写光刻技术近似。不需要掩膜板,应用高能粒子束直写。
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