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in-situ steam generation
网络释义
利用现场水汽生成
...薄膜平坦化--深度搜 平坦化 半导体学报 CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS [摘要] 利用现场水汽生成(in-situ steam generation,ISSG)退火这种新型的低压快速氧化热退火技术,在对沉积二氧化硅薄膜热退火的同时进行补偿氧化生长,最终实现了沉..
用现场水汽生成
...薄膜平坦化--深度搜 平坦化 半导体学报 CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS [摘要] 利用现场水汽生成(in-situ steam generation,ISSG)退火这种新型的低压快速氧化热退火技术,在对沉积二氧化硅薄膜热退火的同时进行补偿氧化生长,最终实现了沉..
内部蒸气产生氧化反应
... steam generation facility 蒸汽发生装置 dilution steam generation 稀释蒸汽的发生 ; 稀释蒸汽 in-situ steam generation 用现场水汽生成 ; 内部蒸气产生氧化反应 ; 利用现场水汽生成 ...
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