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imprint lithography
网络释义
压印光刻
文章详细信息 关键词： 压印光刻;;高保真度;;模具;;压印工艺;;热误差 [gap=675]Keywords: imprint lithography;high-conformity;mold;imprint process;thermal error
压印微影
此外，压印微影（imprint lithography ）技术也可以解决晶片体积压缩的问题。 在传统的光刻工艺当中，一束镭射用来雕刻硅片上的一道沟槽，而后，这些沟槽会经过化学物...
印光刻技术
...泛关注，并于2003年底被国际半导体技术蓝图机构列为32 nm 以下节点光刻制造的备选技术之二． 压印光刻技术(Imprint Lithography)最早由美国明尼苏达大学于20世纪90年代中期提出睁7]，该技术将具有纳米图案的模板以机械力在涂布高分子光刻胶的硅基板上等比例(1...
常用短语
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