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输入要查询的单词：
glancing angle deposition
网络释义
沉积
...衬底所在平面与靶面所处平面的夹角来改变所制备薄膜的晶相结构，这种制备方 法即所谓的掠射角沉积（glancing angle deposition），其原理在于阴影效应，即在薄 膜成核生长的过程中，正对着入射物质的方向将获得优先取向，而处于入射方向阴 影的部分将形成疏松...
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