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gas-assisted etching
网络释义
气体辅助刻蚀
基于聚焦离子束注入的微纳加工技术研究--《电子显微学报》2009年01期 子束注入(focused ion beam implantation,FIBI)和聚焦离子束XeF2气体辅助刻蚀(gas assisted etching,GAE)相结合的微纳加工技术。通过扫描电镜观察FIBI横截面研究了聚焦离子束加工参数与离子注入深度的关系。当
气体辅助刻蚀方法
为获得更好的刻蚀效果,还采用了FIB的气体辅助刻蚀方法（gas-assisted etching,GAE）。研究发现,与直接刻蚀结果相比,GAE减小了反沉积效应,得到了更好的孔形。
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