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forming gas
查词链接：
https://www.dute.org/dict/forming_gas复制链接 成型气体：一种用于半导体制造和其他工业应用的气体混合物，通常由氢气和氮气组成。
查看英英释义
abstract:
Forming gas is a mixture of hydrogen (mole fraction varies) and nitrogen. It is sometimes called a "dissociated ammonia atmosphere" due to the reaction which generates it:
网络释义
合成气体
...情况下，等离子体借助于水冷的阳极和水冷的阴极之间的直流电由气体(第一气体)产生。该气体是，例如，氮气或合成气体(forming gas)。根据所述气体的种类，在等离子体火焰中可以产生不同的温度。
组成气体
... 组合设备工具：cluster tool 组成气体：forming gas 组成非均一性：constitutional heterogenity,compositional heterogenity ...
混合气体
...有很大的影响,实验中 FGA20 min然后在管内降温至 400 ℃时得到实验的最优结果, 降温过程中管内一直通氢氮混合气体 ( forming gas) ,少子寿命比退火 240 min提高大概 2μs,这说明降温时降 温环境中有没有 H对钝化效果有很大的影响,同时降温时间也至关重要,缓慢的...
合气体
...有很大的影响,实验中 FGA20 min然后在管内降温至 400 ℃时得到实验的最优结果, 降温过程中管内一直通氢氮混合气体 ( forming gas) ,少子寿命比退火 240 min提高大概 2μs,这说明降温时降 温环境中有没有 H对钝化效果有很大的影响,同时降温时间也至关重要,缓慢的...
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