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femtosecond pulse laser deposition


网络释义
飞秒脉冲激光沉积
(3)将飞秒脉冲激光沉积法(fsPLD, femtosecond Pulse Laser Deposition)引入到β-FeSi2薄膜的制备工艺中,并与准分子(excimer)激光沉积法进行了比较,得到了脉冲激...
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