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excimer laser anneal


网络释义
而非准分子激光退火
TFT采用固相生长(SPC)的低温多晶硅(LTPS),而非准分子激光退火(Excimer Laser Anneal,ELA)。透视模式的透射率因有机EL器件的设计而异,大概在24.2~39.2%(550nm)。
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