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electron beam prober

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电子束探测器
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abstract:
The electron beam prober (e-beam prober) is a specialized adaption of a standard scanning electron microscope (SEM) that is used for semiconductor failure analysis. While a standard SEM may be operated in a voltage range of 25–30 KeV, the e-beam Prober typically operates at 1 KeV.

网络释义
电子束探测器
electron beam lithography 电子束刻蚀法,电子束平印术 electron beam prober 电子束探测器 electron cyclotron resonance (ECR) 电子回旋磁力加速器谐振 ..
电子波束探针
... electron beam melting furnace 电子束熔解炉 electron beam prober 电子波束探针 electron beam test system 电子波束测试系统 ...
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