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e-beam evaporation
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https://www.dute.org/dict/e-beam_evaporation复制链接 电子束蒸发
网络释义
电子束蒸发
2.e-beam evaporation电子束蒸发(e-beam evaporation) : 利用聚焦的电子束的能量达到相变的方法. 用来使金属或合金从固态转为气态.
电子束蒸镀
电子束蒸镀（E-beam Evaporation）利用电子束来加热蒸镀源（source），使蒸镀源蒸发 而沉积在基板上而形成薄膜。
电子枪蒸镀法
另外,目前用以制备铁电材BZT 薄膜的镀膜术,有电子枪蒸镀法(e-beam evaporation)、溶胶-凝胶法(sol-gelprocess) 、射频磁控溅镀( ronSputtering)、有机属分解法(MOD)以及化学气相积(MOCVD)法[9-14]。
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