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damascene processing


网络释义
采用嵌入式工艺
而铜工艺则是采用嵌入式工艺(damascene processing),通常是双嵌入式工艺,即首先沉积一层电介质,然后通过两道光刻和蚀刻,在电介质中蚀刻出微通孔和导线沟道结构。
嵌入式工艺
... damaging stress ==> 损伤应力 damascene processing ==> 嵌入式工艺 damascening ==> 大马士革钢生产法 ...
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