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damascene process


网络释义
镶嵌工艺
本发明涉及一种用以改善蚀刻中止层与金属导线间的粘着性的工艺与结构,特别是涉及一种金属 镶嵌工艺 ( Damascene Process ),且适用于单金属镶嵌或双重金属镶嵌的工艺。
大马士革工艺
我们正在研究沉积和研磨金属层时 大马士革工艺 ( damascene process ) 所需的电子化学机械沉积。此外,为了避免污染孔隙电介质材料 (porous dielectric material),我们还需要新型低黏度清洁化合物。
常用短语
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