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contact hole

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接触孔;接触窗口

网络释义
接触孔
...制的光刻胶应用于干式及浸没式光刻, 在45 nm 工艺中均能得到好的 等幅线宽(line/ space) 、沟槽(t rench) 及接触孔(contact hole) , 是目前报道 的最好的浸没式 树脂之一.
接触窗口
... contact gap 接触间隙 contact hole 接触窗口 contact hole opening 开接触孔 ...
接触窗
这些超细密的内嵌式记忆体的接触窗(contact holes), 对干式微影技术来说是很大的挑战,但1.07数值孔径的浸润式技术, 却可以确保其能够利用简单的曝光即可加以实现。
常用短语
更多常用短语
近义词
接触孔;接触窗口
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