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closed-field unbalanced magnetron sputtering
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https://www.dute.org/dict/closed-field_unbalanced_magnetron_sputtering复制链接 闭合场非平衡磁控溅射
网络释义
闭合场非平衡磁控溅射
闭合场非平衡磁控溅射（Closed-field Unbalanced Magnetron Sputtering，CFUMS） 技术的主要特点在于它是至少两个非平衡磁控管的组合，磁控管按照相邻磁极极性相反 的方式来组合工作，使...
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