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chemico-mechanical polishing
查词链接：
https://www.dute.org/dict/chemico-mechanical_polishing复制链接 化学机械抛光：一种半导体制造过程中用于平整化表面的技术，通过化学和机械作用去除表面的材料。
网络释义
化学机械抛光
... chemical polishing 化学光泽处理 chemico-mechanical polishing 化学机械抛光 Chicago boom 芝加哥起重臂 ...
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