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输入要查询的单词：
buried oxide layer
网络释义
层
与体硅材料相比, SOI 材料的最大不同 就是在 SOI 材料中存在着一层绝缘层( buried oxide layer ,BOX) . 而这层BOX 将对 Si Ge 薄膜的弛豫过 程 产生极大的影响.
常用短语
- buried-oxide layer的薄埋氧化物层
- double buried oxide layer双介质埋层
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