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bulk micromachining
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https://www.dute.org/dict/bulk_micromachining复制链接 体微加工
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abstract:
Bulk micromachining is a process used to produce micromachinery or microelectromechanical systems (MEMS).
网络释义
微加工
这些技术支持两种加工方法：在硅底板上深度刻蚀以形成驱动部分的体微加工（Bulk Micromachining），在层叠于硅底板表面的膜上形成驱动部分的表面微加工。
加工技术
体微加工技术(Bulk Micromachining)指通过光 刻和化学刻蚀去除部分基体或衬底材料,从而得到 所需要元件的体构形。该技术主要包括硅的湿法和 干法刻蚀工艺。
体微加工
体微加工（bulk micromachining）是在硅衬底里制作微机械的运动部件，根据需 要选择性的移除无用部分而制作出指定的微结构，体微加工技术已应用于很多产 ．8- 醢基...
常用短语
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