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atomic layer deposition

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原子层沉积:一种利用自限制化学反应在表面上以单层方式沉积薄膜的技术。
查看英英释义
abstract:
Atomic layer deposition (ALD) is a thin film deposition technique that is based on the sequential use of a gas phase chemical process. The majority of ALD reactions use two chemicals, typically called [These precursors react with a surface one at a time in a sequential, self-limiting, manner.

网络释义
原子层沉积
原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)作为一种基于表面自限制反应的化学气相沉积技术,具有优异的均匀一致性和亚纳米厚度可控性,可对微纳米颗粒精确控制包覆厚度、...
原子层沉积技术
...面复合速率(SRV),提高太阳能电池的短路电流和开路电压,进而使光电转换效率提高。原子层沉积技术(Atomic Layer Deposition,ALD)是一项薄膜沉积的新工艺,用它来沉积的氧化铝钝化材料在太阳能电池中得到了应用,并在实验室得到了较高的转化效率。
原子层沉积法
...的材料沉积,但仍具有相同的沉积厚度,改善阻抗层的一致性和均匀性,就45奈米制程来说,原子层沉积法(Atomic Layer Deposition,ALD)是较为适用的,利用Molecular-Level的控制,可以达到100%的Step Coverage...
常用短语
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