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UHV e-beam evaporation system


网络释义
超高真空电子束沉积系统
... 超高真空热处理系统(High vacuum heating system for 8” wafer @ 1200 C) 超高真空电子束沉积系统(UHV e-beam evaporation system) 超高真空脉冲激光沉积系统(UHV PLD system) ...
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