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Thin-film Micro-mirror array


网络释义
薄膜微镜阵列
...信息光学11 - docin.com豆丁网 inge support Yoke Electrode support Torsion hinge 薄膜微镜阵列(Thin-film Micro-mirror array, TMA) TMA在光学原理上和DMD比较类似,它采用压电材料的电致伸缩特性控制微镜偏 转。
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