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Stress-Induced Leakage Current


网络释义
应力感应的漏电流
...对其HfO_2栅介质电学性质和可靠性的影响;分析了HfO_2栅介质中的漏电流机制和应力感应的漏电流(Stress-induced leakage current,SILC)效应以及工艺条件的影响;同时还利用反应溅射方法制备了氮化的HfO_2(HfO_xN_y)栅介质薄膜,...
的漏电流
...对其HfO_2栅介质电学性质和可靠性的影响;分析了HfO_2栅介质中的漏电流机制和应力感应的漏电流(Stress-induced leakage current,SILC)效应以及工艺条件的影响;同时还利用反应溅射方法制备了氮化的HfO_2(HfO_xN_y)栅介质薄膜,...
藉由电容之受压漏电
超薄氧化层之漏电量测  借由电容之受压漏电(stress-induced leakage current, SILC)量测结果,比较不同厚度、不同 制程之超薄氧化层材质特性,并借此萃取超薄 氧化层之缺陷密度与分布状态。
应力所导致的漏电流
...永久性崩溃( H a r d Breakdown, HBD)外,会有两种新的现象产生,一种是因受应力所导致的漏电流(Stress-Induced Leakage Current, SILC),另一种是暂时性崩溃(Soft Breakdown, SBD),如图四所示。
常用短语
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