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Single Wafer Process


网络释义
单晶圆制程
...,工艺复杂度的提高引起制造弹性度的提高,半导体制造正从多晶圆的批次制程(Batch Process)转为单晶圆制程(Single Wafer Process),而设备的安排正逐渐单元(Cell)化,即所谓集结式机台在半导体厂中的使用正逐渐扩大。
常用短语
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