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Semiconductor Wafer Fabrication System


网络释义
半导体晶圆制造系统
...ngineering and Applications 计算机工程与应用 2009,45(12) 半导体晶圆制造系统(Semiconductor Wafer Fabrication System,SWFS)是一类复杂的生产制造系统。
柔性制造系统
1引言 柔性制造系统(Semiconductor Wafer Fabrication System,SWFS)规模庞大、造价昂贵、设备繁 多,具有反复重入型加工和多品种混合生产的特点。
晶圆制造系统
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