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- reactive ion etching[电]反应离子蚀刻
Reactive Ion Etch-RIE
网络释义
平行电极刻蚀反应室
至今还在集成电路制造中广泛应用的平行电极刻蚀反应室（Reactive Ion Etch-RIE）是在1974年提出的设想。
常用短语
- RIE-Reactive Ion Etch反应离子刻蚀
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