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Rapid Thermal Processing
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https://www.dute.org/dict/rapid_thermal_processing复制链接 快速高温处理，快速热处理，快速热工艺
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Rapid Thermal Processing (or RTP) refers to a semiconductor manufacturing process which heats silicon wafers to high temperatures (up to 1,200 °C or greater) on a timescale of several seconds or less. During cooling, however, wafer temperatures must be brought down slowly so they do not break due to thermal shock.
网络释义
快速热处理
其中快速热处理(rapid thermal processing)之相关设备,近年来在大面积,高密度及单晶圆处理(single-wafer processing)的趋势下日形重要.
快速高温处理
... 全球微蚀刻技术（Microlithography） 快速高温处理（Rapid Thermal Processing） 蚀刻（Etching） ...
温制程
即使迅速高温制程(rapid thermal processing,rtp)之事情温度规模与多晶硅及磊晶硅制程有部分叠合,其本质差异却极大。
即使快速高温制程
高温制程_互动百科 硅两种薄膜的应用状况虽然不同，却都是在类似的制程反应室中经高温（600℃至1200℃）沉积而得。 即使快速高温制程（Rapid Thermal Processing, RTP）之工作温度范围与多晶硅及磊晶硅制程有部分重叠，其本质差异却极大。RTP并不用来沈积薄膜，而是用来修正
常用短语
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