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输入要查询的单词：
Proximity X-ray Lithography
网络释义
射线微影术
...[中国光学光电子行业论坛] 微影术(Electron Beam Projection Lithography, EPL)、近接X射线微影术(Proximity X-ray Lithography, PXL)等所谓次世代微影术，但这类制程的成本很高，并不适合工业上量产，目前仍处于研发阶段。
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