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Polysilicon Reactive Ion Etching
网络释义
复晶硅活性离子蚀刻系统
称： 中文名称：复晶矽活性离子蚀刻系统 英文名称：Polysilicon Reactive Ion Etching 英文简称：Poly-Si RIE 三.服务项目： 蚀刻复晶矽、单晶矽等材料。 （试片不得含有参杂及金属） 四.重要规格： 包含两个真空邦浦、一个真空室
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