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Plused laser deposition
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本文利用脉冲激光沉积
浅析柔性衬底上掺杂氧化锌薄膜的制备及性能研究 -生物学、地质学-论文中国 特的优点，可广泛应用于制造智能卡片、电子地图、平面显示器和柔性衬底太阳能电池等，具有很好的应用前景。本文利用脉冲激光沉积(Plused LaserDeposition，PLD)技术，选取在有机柔性衬底(PET)上沉积的Al掺杂ZnO(AZO)和Hf掺杂ZnO(Hf_xZn_(
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